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　　2.4.2 電子與物體表面的作用

　　一方面電子對(duì)物體表面的撞擊作用，可促使吸附在物體表面的氣體分子發(fā)生分解和解吸，另一方面大量的電子撞擊有利引起化學(xué)反應(yīng)。由于電子質(zhì)量極小，因此比離子的移動(dòng)速度要快的多，當(dāng)進(jìn)行等離子體處理時(shí)，電子要比離子更早達(dá)到物體表面，并使表面帶有負(fù)電荷，這有利于引發(fā)進(jìn)一步反應(yīng)。

　　2.4.3 離子與物體表面的作用

　　通常指的是帶正電荷的陽離子的作用，陽離子有加速?zèng)_向帶負(fù)電荷表面的傾向，此時(shí)使物體表面獲得相當(dāng)大的動(dòng)能，足以撞擊去除表面上附著的顆粒性物質(zhì)，我們?cè)谶@種現(xiàn)象稱為濺射現(xiàn)象，而通過離子的沖擊作用可極大促進(jìn)物體表面化學(xué)反應(yīng)發(fā)生的幾率。

　　2.4.4 紫外性與物體表面的反應(yīng)

　　紫外性具有很強(qiáng)的光能，可使附著在物體表面物質(zhì)的分子鍵發(fā)生斷裂而分解，而且紫外線具有很強(qiáng)的穿透能力，可透過物體的表面深入達(dá)數(shù)微米而產(chǎn)生作用。

　　綜上所述，可知等離子清洗是利用等離子體內(nèi)的各種具有高能量的物質(zhì)和活化作用，將附著在物體表面的污垢徹底剝離去除。

　　下面以氧氣等離子體去除物體表面油脂污垢為例，說明這些作用，從分析可以看出，等離子體對(duì)油脂污垢的作用，類似于使油脂污垢發(fā)生燃燒反應(yīng)，但不同之處是在低溫情況下發(fā)生的“燃燒”。

　　其基本原理：氧氣等離子體中的氧原子自由基、激發(fā)態(tài)的氧氣分子、電子以及紫外線的共同作用下，油脂分子最終被氧化成水和二氧化碳分子，并從物體表面被清除。

　　從以上可以看出，用等離子體清除油污的過程可使有機(jī)大分子逐步降解的過程，最終形成的是水和二氧化碳等小分子，這些小分子以氣體形式被排除。等離子清洗的另一個(gè)特點(diǎn)是在清洗完成以后物體已被徹底干燥，經(jīng)過等離子體處理的物體表面往往形成許多新的活性基因，使物體表面發(fā)生“活化”而改變性能，可以大大改善物體表面的潤(rùn)濕性能和黏著性能，這對(duì)許多材料是非常重要的，因此，等離子清洗具有許多溶劑進(jìn)行的濕法清洗所無法比擬的特點(diǎn)。

　　3 離子清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)及工作原理的研究

　　3.1 等離子體清洗設(shè)備的基本構(gòu)造

　　根據(jù)用途的不同，可選用多種構(gòu)造的等離子清洗設(shè)備，并可通過選用不同種類的氣體，調(diào)整裝置的特征參數(shù)等方法使工藝流程實(shí)現(xiàn)最佳化，但等離子體清洗裝置的基本結(jié)構(gòu)大致是相同的，一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、電極、氣體導(dǎo)入系統(tǒng)、工件傳送系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉(zhuǎn)油泵，高頻電源通常用13.56M赫茲的無線電波，設(shè)備的運(yùn)行過程如下：

　�。�1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，啟動(dòng)運(yùn)行裝置，開始排氣，使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時(shí)間大約需要2min。