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光伏行業(yè)中的等離子清洗的應(yīng)用與技術(shù)

2013-02-23 09:08

　　要外加能量給電子，最簡單的方法就是用平行電極板加一直流電壓，電子在電極中，會被帶正電的電極所吸引而加速，在加速的過程中電子可以累積能量，當(dāng)電子的能量達(dá)到某一程度時，就有能力來解離中性氣體原子，能產(chǎn)生高密度等離子體的方法有很多種，在此我們簡單的介紹一些能產(chǎn)生高密度等離子體的方法。

　　3.3.1 感應(yīng)偶合式等離子體產(chǎn)生法（ICP）

　　感應(yīng)偶合式等離子體與（Inductively－Couplede－Plasma，ICP）的工作原理，就是在線圈上加上一個高頻電源，當(dāng)線圈上的電流改變時，就可有安培定律知道，當(dāng)感應(yīng)產(chǎn)生一變動磁場，同時可由法拉第定律知道此變動之磁場會感應(yīng)出一個反應(yīng)方向的電場，此電場會加速等離子體中的電子而形成一線圈電流相反的二次電流。并且隨著與加于線圈上的電流不斷改變，而感應(yīng)出的電場也不斷改變，這不斷改變電場與平板式高調(diào)波等離子體一樣能用來加速電子以維持等離子體，所不同的是電場與電極方向不同。在平板式高調(diào)波等離子體中電子受電場影響而運(yùn)動方向垂直于電極，所以會有許多電子逃離等離子體跑到電極上，使能量消耗在加熱電極上，而在感應(yīng)偶合式等離子中，電子受感應(yīng)電場的影響而使運(yùn)動方向與電極平行，因此不會有太多的電子損耗在電極上，固可以維持線圈周圍相當(dāng)高的電子密度。 ICP的主要優(yōu)點(diǎn)為：

　�。�1）等離子體密度高、解離率高，能夠在相當(dāng)大的壓力范圍上保持高密度等離子體。

　�。�2）平板式ICP可大面積操作。

　�。�3）ICP等離子體中的電子溫度低、離子動能低、等離子體電位低。

　　（4）等離子體密度及離子轉(zhuǎn)擊基板的動能可分開控制。

　　（5）設(shè)備簡單。

　　但其唯一的缺點(diǎn)為線圈電極可能被離子打出而污染鍍膜品質(zhì)，一般改善的方法有：

　�。�1）將線圈電極的一端接地以降低線圈電極之電位，即減少電容效應(yīng)。

　　（2）并聯(lián)一直流電壓以防止離子轉(zhuǎn)擊。

　　（3）可使用法拉第屏蔽（Faraday‘s shielding）以消除電容效應(yīng)。

　　（4）將線圈以介電材料被覆（coating）以降低等離子體電位。