MB線切割硅片工序操作規(guī)程
14、按F13 檢查工件進(jìn)給的調(diào)節(jié)因子是否設(shè)定在 100%?按F13 檢查所有工件是否被鎖緊?并調(diào)整設(shè)定切割時(shí)的零點(diǎn)(按F5,降低工作臺(tái))。調(diào)節(jié)上工作臺(tái)面,按F9 先釋放夾緊,再手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)器右側(cè)的手輪,調(diào)節(jié)結(jié)束后,并將工作臺(tái)再次鎖緊。按F13/S3 檢查工件的位置是否回到 2.000mm處?按F13/S10 檢查在切割時(shí)的進(jìn)給速度是否設(shè)定為:1mm/min?
15、按F14/S10 檢查軸承和馬達(dá)的溫度設(shè)定值 “Set” 是否正確(23°)?
16、按F15 檢查線速度的調(diào)節(jié)因子是否設(shè)定在 100%?按F15 檢查向前/向后進(jìn)線的按鈕應(yīng)沒(méi)有被激活(F5)?按F15 檢查切割進(jìn)線的方向設(shè)定是否正確 (F6, 向左側(cè)進(jìn)給 “ß”)?按F15 檢查斷線檢查鍵應(yīng)被激活 (F8)?按F15檢查接地檢查鍵應(yīng)被激活 (F9)?按F15/S10 檢查線的張力(自動(dòng)模式下)設(shè)定值是否正確 (應(yīng)為:35N)?按F15/S10 檢查線速度在自動(dòng)模式下設(shè)定是否正確(應(yīng)為:12m/s)?
17、按F16/S10 剩余時(shí)間值是否正確?在開(kāi)始自動(dòng)切割前檢查不允許有報(bào)警信息存在。將門(mén)用鑰匙關(guān)閉并鎖緊(off 側(cè)),并將鑰匙取出保管好。在按“自動(dòng)開(kāi)始切割模式“后將最頂層畫(huà)面顯示在窗體上,并確認(rèn)切割時(shí)間是否正確?在按“自動(dòng)開(kāi)始切割模式“后將最頂層畫(huà)面顯示在窗體上,并確認(rèn)此次切割所要消耗的線長(zhǎng)是否正確?
18、開(kāi)始切割。按“《-》”按鈕。
六、切割中注意事項(xiàng)
在切割過(guò)程中要觀察機(jī)器的運(yùn)行狀況 (軸承的溫度;漿料的溫度/ 漿料的流量;線的張力等。
七、切割后檢查步驟
1、在切割結(jié)束時(shí),按“ENTER”鍵確認(rèn)信息;
2、在頂層畫(huà)面按F3 鍵,將自動(dòng)模式改為“SETUP”模式;
3、用鑰匙將門(mén)解鎖(to “ON” side);將前門(mén)打開(kāi);
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