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MB線切割硅片工序操作規(guī)程

  四、攪拌漿料

  根據(jù)切割晶棒的總長度用計(jì)算軟件計(jì)算需要的乙二醇和碳化硅,填寫在《攪拌漿料記錄表》上。先用氣泵將乙二醇抽入攪拌器中,然后將碳化硅緩慢均勻的倒入攪拌器中,連續(xù)攪拌4小時(shí)以上,用測流速專用工具測量其流速,時(shí)間在30~40分鐘為合格。

  五、切割前準(zhǔn)備步驟

  1、按F14,F(xiàn)6 將冷卻水開關(guān)全部打開,在執(zhí)行此命令前,要檢查外界的冷卻系統(tǒng)是否打開,并檢查進(jìn)水口水壓在 2 - 4 bar。

  2、檢查切割線網(wǎng)上是否有跳線,并將跳線固定好。從機(jī)器中將所有掉落的晶片清理干凈,并將線網(wǎng)下方的過濾網(wǎng)清潔。

  3、按F15 檢查右側(cè)放線輪上的切割線的長度( 》210km),如果長度不夠,請更換新的足夠長的線,同時(shí)要調(diào)整放線輪的參數(shù)(直徑、線長--km)。按F15 檢查左側(cè)收線輪上線的長度(《430 km),如果長度已超出,請更換新的收線輪,同時(shí)要調(diào)整收線輪的參數(shù)(直徑、線長--km),并在新的收線輪上預(yù)先繞上1km的線(手動(dòng)執(zhí)行)。(如出現(xiàn)收線輪線長的報(bào)警等,可將收線輪上的線長臨時(shí)改為2km, 待正常后,再將其改回正確的值。)。

  4、檢查小的導(dǎo)線輪,如果有損傷等情況時(shí),可將其更換,正常切割10次左右后,將其更換。

  5、將左、右側(cè)的門關(guān)閉。

  6、檢查漿料供給是否正常 (向前、向后)?

  7、檢查漿料罐漿料過濾器的壓力(最大不要超過: 0.5 bar,否則要更換新的過濾袋)。

  8、檢查漿料的噴嘴是否被堵住?如果不是很干凈,請將其清洗干凈。

  9、將所有工件的夾緊部位清潔, (較長晶棒的一側(cè)緊靠活動(dòng)軸承一側(cè)) ,并將其鎖緊。

  10、檢查冷卻水的溫度在切割時(shí)不要超過19ºC (按F14,àB1701)。檢查柜內(nèi)的冷卻水系統(tǒng)的壓力必須分別在:最低 5 bar; 2.5 bar; 5 bar. (冷卻系統(tǒng)必須全部打開)。

  11、按F11,F(xiàn)4 檢查漿料的密度是否在范圍內(nèi)? (=1.65 ± 0.001kg/l)

  12、按F11/S10 檢查漿料的溫度及其設(shè)定值 “Set” 是否正確(25.4°)

  13、按F12 檢查切割的工藝參數(shù) (是否為正確的切割過程參數(shù))

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