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　　在制造工藝上采用氮氣攜帶三氯氧磷管式高溫擴散是目前主流生產(chǎn)技術，其特點是產(chǎn)量大、工藝成熟操作簡單。隨著電池向大尺寸、超薄化方向發(fā)展以及低的表面雜質(zhì)濃度（表面方塊電阻80～120Ω／口、均勻性±3%以內(nèi)），減壓擴散技術（LYDOP）優(yōu)勢非常明顯，工藝中低的雜質(zhì)源飽和蒸氣壓、提高了雜質(zhì)的分子自由程，它對156尺寸的硅片每批次產(chǎn)量400片的情況下其擴散均勻性仍優(yōu)于±3%，是高品質(zhì)擴散的首選與環(huán)境友好型的生產(chǎn)方式。鏈式擴散設備不僅適應Inline自動化生產(chǎn)方式，而且處理硅片尺寸幾乎不受限制、碎片率大大降低而迅速受到重視，其工藝有噴涂磷酸水溶液擴散與絲網(wǎng)印刷磷漿料擴散二種。在鏈式擴散技術上，BTU、SCHMID以及中電集團第48所均已有長時間的研究及工業(yè)化應用，只要能在擴散質(zhì)量上獲得突破其一定會取代目前管式擴散成為主流生產(chǎn)裝備與技術。

　　5.高效晶體硅電池技術-去邊技術

　　產(chǎn)業(yè)化的周邊PN結去除方式是等離子體干法刻蝕，該方法技術成熟、產(chǎn)量大，但存在過刻、鉆刻及不均勻的現(xiàn)象，不僅影響電池的轉換效率，而且導致電池片蹦邊、色差與缺角等不良率上升。激光開槽隔離技術根據(jù)PN結深度而在硅片邊緣開一物理隔離槽，但與國外情況相反，據(jù)國內(nèi)使用情況來看電池效率反而不及等離子體刻蝕技術，因此該方法有待進一步研究。

　　目前行業(yè)出現(xiàn)的另外一種技術——化學腐蝕去邊與背面腐蝕拋光技術集刻蝕與去PSG一體，背面絨面的拋光極大降低了入射光的透射損失、提高電池紅光響應。該方法工藝簡單、易于實現(xiàn)inline自動化生產(chǎn)，不存在“鉆刻”與刻蝕不均勻現(xiàn)象，工藝相對穩(wěn)定，因此盡管配套設備昂貴但仍引起業(yè)內(nèi)廣泛關注。

作者：和海一樣的新能源

　　光伏高效電池饕餮盛宴（一）：1.高效電池-光伏的突圍之匙；2.什么是高效光伏電池；3.技術發(fā)展趨勢-薄片化；4.光伏技術發(fā)展戰(zhàn)略目標；5.光伏產(chǎn)業(yè)技術路線圖【詳細】

　　光伏高效電池饕餮盛宴（二）：1.硅太陽能電池的轉換效率損失機理；2.提高晶硅太陽能電池轉換效率的方法；3.高效晶體硅太陽能電池-PERL電池；4.高效晶體硅太陽能電池-HIT電池；5.高效晶體硅太陽能電池-IBC電池【詳細】

　　光伏高效電池饕餮盛宴（三）：1.高效晶體硅太陽能電池-MWT電池；2.高效晶體硅太陽能電池-EWT電池；3.高效晶體硅太陽能電池-LGBC電池；4.高效晶體硅太陽能電池-OECO電池；5.高效晶體硅太陽能電池-N型晶體硅電池【詳細】

　　光伏高效電池饕餮盛宴（四）：1.高效晶體硅太陽能電池-LBSF電池；2.高效晶體硅太陽能電池-德國Fraunhofer超薄多晶硅高效電池；3.高效晶體硅太陽能電池-日本京瓷（Kyocera）的高效多晶硅電池；4.高效晶體硅太陽能電池-PCC電池；5.國產(chǎn)高效晶體硅電池-尚德冥王星（Pluto）【詳細】

　　光伏高效電池饕餮盛宴（終）：1.高效晶體硅電池技術-表面鈍化；2. 2011商業(yè)化高效太陽電池產(chǎn)能；3. N型電池與P型電池比較；4. P型電池與N型電池結構比較；5. 正結—半背結—背結技術的比較；6. 常規(guī)前結電池與背結電池的比較【詳細】