硅片多線切割技術(shù)詳解
三、砂漿的粘度
線切割機(jī)對(duì)硅片切割能力的強(qiáng)弱,與砂漿的粘度有著不可分割的關(guān)系。而砂漿的粘度又取決于硅片激光劃片機(jī)切割液的粘度、硅片切割液與碳化硅微粉的適配性、硅片切割液與碳化硅微粉的配比比例、砂漿密度等。只有達(dá)到機(jī)器要求標(biāo)準(zhǔn)的砂漿粘度(如NTC機(jī)器要求250左右)才能在切割過(guò)程中,提高切割效率,提高成品率。
四、砂漿的流量
鋼線在高速運(yùn)動(dòng)中,要完成對(duì)硅料的切割,必須由砂漿泵將砂漿從儲(chǔ)料箱中打到噴砂咀,再由噴砂咀噴到鋼線上。砂漿的流量是否均勻、流量能否達(dá)到切割的要求,都對(duì)切割能力和切割效率起著很關(guān)鍵的作用。如果流量跟不上,就會(huì)出現(xiàn)切割能力嚴(yán)重下降,導(dǎo)致線痕片、斷線、甚至是機(jī)器報(bào)警。
五、鋼線的速度
由于線切割機(jī)可以根據(jù)用戶的要求進(jìn)行單向走線和雙向走線,因而兩種情況下對(duì)線速的要求也不同。單向走線時(shí),鋼線始終保持一個(gè)速度運(yùn)行(MB和HCT可以根據(jù)切割情況在不同時(shí)間作出手動(dòng)調(diào)整),這樣相對(duì)來(lái)說(shuō)比較容易控制。目前單向走線的操作越來(lái)越少,僅限于MB和HCT機(jī)器。
雙向走線時(shí),鋼線速度開(kāi)始由零點(diǎn)沿一個(gè)方向用2-3秒的時(shí)間加速到規(guī)定速度,運(yùn)行一段時(shí)間后,再沿原方向慢慢降低到零點(diǎn),在零點(diǎn)停頓0.2秒后再慢慢地反向加速到規(guī)定的速度,再沿反方向慢慢降低到零點(diǎn)的周期切割過(guò)程。在雙向切割的過(guò)程中,線切割機(jī)的切割能力在一定范圍內(nèi)隨著鋼線的速度提高而提高,但不能低于或超過(guò)砂漿的切割能力。如果低于砂漿的切割能力,就會(huì)出現(xiàn)線痕片甚至斷線;反之,如果超出砂漿的切割能力,就可能導(dǎo)致砂漿流量跟不上,從而出現(xiàn)厚薄片甚至線痕片等。
目前MB的平均線速可以達(dá)到13米/秒,NTC達(dá)10.5-11米/秒。
六、鋼線的張力
鋼線的張力是硅片切割工藝中相當(dāng)核心的要素之一。張力控制不好是產(chǎn)生線痕片、崩邊、甚至短線的重要原因。
1、鋼線的張力過(guò)小,將會(huì)導(dǎo)致鋼線彎曲度增大,帶砂能力下降,切割能力降低。從而出現(xiàn)線痕片等。
2、鋼線張力過(guò)大,懸浮在鋼線上的碳化硅微粉就會(huì)難以進(jìn)入鋸縫,切割效率降低,出現(xiàn)線痕片等,并且斷線的幾率很大。
3、如果當(dāng)切到膠條的時(shí)候,有時(shí)候會(huì)因?yàn)閺埩κ褂脮r(shí)間過(guò)長(zhǎng)引起偏離零點(diǎn)的變化,出現(xiàn)崩邊等情況。
MB、NTC等線切割機(jī)一般的張力控制在送線和收線相差不到1,只有安永的相差7.5。
七、工件的進(jìn)給速度
工件的進(jìn)給速度與鋼線速度、砂漿的切割能力以及工件形狀在進(jìn)給的不同位置等有關(guān)。工件進(jìn)給速度在整個(gè)切割過(guò)程中,是由以上的相關(guān)因素決定的,也是最沒(méi)有定量的一個(gè)要素。但控制不好,也可能會(huì)出現(xiàn)線痕片等不良效果,影響切割質(zhì)量和成品率。
總之,太陽(yáng)能硅片線切割機(jī)的操作,是一個(gè)經(jīng)驗(yàn)大于技術(shù)流程與標(biāo)準(zhǔn)的精細(xì)活。只有在實(shí)際操作中,不斷總結(jié)與探討,才能對(duì)機(jī)器的駕馭游刃有余。
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