PECVD
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PECVD真空腔體是HJT電池生產(chǎn)所需關鍵設備，行業(yè)發(fā)展前景廣闊
PECVD是制備薄膜光伏電池中非晶硅吸收層的關鍵工藝，而PECVD真空腔體則是PECVD工藝所需重要設備載體之一。真空腔體是指保證內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器設備，當前在技術工藝要求不斷升級背景下，多數(shù)先進工藝均需在真空或惰性氣體保護條件下完成，因此，真空腔體應運而生，成為保證多種工藝順利實施的關鍵設備
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管式PECVD如何應對大尺寸硅片
從156．75 mm到166 mm，大尺寸硅片已經(jīng)悄然進入市場，硅片尺寸增大在電池片制造、組件封裝等環(huán)節(jié)能夠?qū)崿F(xiàn)成本節(jié)約，據(jù)了解M6電池片各制程的工藝時間與M2制程時間相差不大，因此在電池制造過程中每片大約可降低0．05元成本
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